一、集成電路用超純水設(shè)備概述

　　集成電路是一種微型電子器件，它是在一小塊或幾塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基片上，封裝在一個管科中，集成電力的生產(chǎn)離不開水的使用，該行業(yè)對于水的要求非常高，不能含有任何導(dǎo)電離子，集成電路用超純水設(shè)備采用先進制水技術(shù)，出水水質(zhì)完全符合行業(yè)用水需求。

　　二、集成電路用超純水設(shè)備工作原理

　　供給原水進入EDI系統(tǒng)，主要部分流入樹脂/膜內(nèi)部，而另一部分沿膜板外側(cè)流動，以洗去透出膜外的離子，SHU脂截留水中的容存離子，被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運動，陽離子向負極方向運動，陽離子透過陽離子膜，排出樹脂/膜之外，陰離子透過陰離子膜，排出樹脂/膜之外，濃縮了的離子從廢水流路中排出，無離子水從樹脂/膜內(nèi)流出。

　　三、集成電路用超純水設(shè)備工藝流程

　　自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng)→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

　　四、集成電路用超純水設(shè)備特點

　　該系統(tǒng)由單片機(PLC)控制，一切動作均在預(yù)設(shè)程序下自動進行，具備全自動功能(自動制水、自動沖洗、原水缺水/水箱滿水自動停機)。

　　系統(tǒng)結(jié)構(gòu)布置緊湊，占地面積小，有效節(jié)約空間。

　　系統(tǒng)能耗低，有效節(jié)約能源。

　　耗材壽命長，制水成本低廉。

　　系統(tǒng)運行可靠，供水管路封閉，出水水質(zhì)穩(wěn)定。